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实验室环保设备洁净室层流和乱流优缺点
编辑:杭州杰尼实验设备有限公司   时间:2017-01-19

    实验室环保设备洁净室层流和乱流优缺点

一 层流式:   层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由掩盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两边隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境运用,通常其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:      
1 垂直层流式:房间天花板彻底以ULPA过滤器掩盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所发生的尘土可迅速排出室外而不会影响其它工作区域。      
优点:办理简单,工作开端短时刻内即可达安稳状况,不易为工作状况或工作人员所影响。
缺陷:结构费用较高,弹性运用空间艰难,天花板之吊架适当占空间,修理替换过滤器较费事。  复合式(Mixed Type)    复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供部分超洁净之空气。      
(1)洁净地道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级进步至10级以上,可节约装置作业费用。       此型式需将作业人员之作业区与商品和机器修理予以阻隔,以防止机器修理时影响了作业及质量,ULSI制程大都选用此种型式。      
洁净地道还有二项长处:A.弹性扩大简单; B.修理设备时可在修理区轻易履行。

2 水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙面之回风体系回风,尘土随风向排出室外,通常在下贱侧污染较严重。      
优点:结构简略,工作后短时刻内即可成为安稳。     
 缺陷:缔造费用比乱流式高,室内空间不易扩大。   
二 乱流式:    空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两边隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
界说:气流以不均匀速度不平行活动、伴有回流或涡流的洁净室。   
优点:结构简略、体系缔造成本,洁净室之扩大比较简单,在某些特殊用处场合,可并用无尘工作台,进步洁净室等级。     
 缺陷:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程商品。别的若体系中止工作再激活,欲达需要之洁净度,通常须耗时适当长一段时刻。

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